Niederdruck Plasmaanlage Plasmacleaner Diener Electronic Tetra 30 Reiniger

Beschreibung

Abmessungen:
19“ Rack mit Anschlüssen
600 mm x 1700 – 2100 mm x 800 mm
(B 750 mm inkl. Stecker) (BxHxT)
Vakuumkammer:
Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier
B 305 mm x H 305 mm T370 mm
B 400 mm x H 140 mm T 625 mm
B 305 mm x H 300 mm T 625 mm
Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier
B 305 mm x H 300 mm T 370 mm
B 305 mm x H 300 mm T 625 mm

Gaszufuhr
Mass Flow Controller (MFC)
Generator Frequenz:
40 kHz / 0 – 1500 W
80 kHz / 0 – 1000 W; 0- 3000 W
13,56 MHz / 0 – 300 W
2,45 GHz / 0 – 850 W

Steuerung:
Basic PC-Steuerung (Windows CE) Full PC-Steuerung (Windows 10 IoT)
SPANNUNGSVERSORGUNG
400 V / 50 – 60 Hz

Druckmessung:
Pirani, Kapazitätsmanometer